TORAY东丽氧气浓度计半导体/液晶

TORAY东丽氧气浓度计半导体/液晶
氧气浓度计烧成炉/N2回流焊/废气相关应用烘烤炉、氮气回流炉、脏气体用氧气分析仪RF-400、LC-750H/PC-111氧气浓度计 RF-400

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TORAY东丽氧气浓度计半导体/液晶

氧气浓度计半导体/液晶/电子元件相关应用用于半导体、电子元件的氧气分析仪MS-500、LC-450A、LC-450D、LC-860氧气浓度计MS-500

最多可同时测量 8 个点
可显示从 ppm 级到 100% 的多种浓度。
安装在半导体制造设备、真空设备等上。
直插式传感器（真空NW法兰16/25/40）
高耐用传感器采用特殊涂层，进一步提高耐用性

测量原理			氧化锆浓差电池类型
形状			分体式（传感器：壁挂式、传感器：直插式）
显示方式			数字4位显示（浓度显示）
测量范围			0-1 / 10 / 100 / 1000ppm / 1 / 10 / 100vol%O 2　10 -20 ~10 -0 atm 自动量程
重复性			±0.5%FS 0-1% 量程或更高，以及 ±1%FS 或 ±0.1ppm（以较大者为准）小于 0-1% 量程 0-1ppm，atm 范围超出保证浓度范围
测量点数			1-8
样气条件	压力		10 -3 ~200KPa（绝压）
	流量		0.5至5,000mL/min或0mL/min（自然扩散状态的测量）
	湿度		露点低于环境温度
	温度		0～100℃
	其他的		不含腐蚀性气体（氟气、氯气、硫化物气体等）、含有机硅的气体、可燃性成分（包括瓦斯）、油类、水分。
比较气体			气氛
录音机输出			仅传输输出
变速输出			RS-232C
报警输出			没有任何
热身时间			6分钟内
尺寸	MS-500（控制器）		92（宽）×44（高）×120（深）（不含突出部分）
	MS-510（转换器）		100（宽）×40（高）×88（深）（不含突出部分）
	传感器单元	SD16NW	总长100mm（传感部分Φ11×39、本体部分Φ40×51）
		SD25NW	总长100mm（传感部分Φ11×42、本体部分Φ40×48）
		SD40NW	总长100mm（传感部分Φ11×41、本体部分Φ40×49）
大量的	MS-500（控制器）		约0.6公斤
	MS-510（转换器）		约0.5公斤
	传感器单元	SD16NW	约0.2公斤
		SD25NW	约0.2公斤
		SD40NW	约0.35公斤
外部连接			任一真空法兰（NW16、25、40）
使用电源			24VDC±10%

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