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ULVAC爱发科 MS 系列螺杆型干泵真空泵

ULVAC爱发科 MS 系列螺杆型干泵真空泵
MS系列是螺杆型干式真空泵。
在传统的LS系列的基础上，提高了耐腐蚀性和粉末排出性能。
该型号专为使用腐蚀性气体和有粉末排出的工艺设计。

更新时间：2024-05-29
产品型号：MS120A
厂商性质：经销商
访问量：200

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联系电话：17503077078

产品详情

ULVAC爱发科 MS 系列螺杆型干泵真空泵

特点

通过对转子轴和气缸等主要部件进行特殊涂层处理，以防腐蚀。

采用ULVAC设计的转子轴，实现高性能的排粉。

从大气压到极限压力，可以在全压力区域连续运行。

用途

半导体和电子器件制造设备相关的真空排气系统，如刻蚀设备、去胶设备、等离子清洗设备等。

真空热处理炉真空排气系统，如烧结炉、渗碳炉等。

锂电池制造设备真空排气系统，如电极干燥设备、脱泡设备、注液设备等。

医疗食品设备相关的真空排气系统，如冷冻干燥设备、真空干燥设备等。

规格

型号		MS120A	MS600A	MS1200A
最大排气速度 *1	m³/h	115	560	980
到达压力	Pa	≦0.6	≦0.1
电源电压		200V Class：3Phase, 50/60Hz, AC200-240V±10% or 400V Class：3Phase, 50/60Hz, AC380-480V±10%
消费电力概略值 *2	kW	2.4	3.1	3.1
冷却水量	L/min	>4.0
Purge gas量 *1	SLM	0~50
最大水蒸气处理量 13	kg/h	1.5
噪音值　*1	dB(A)	61	62	64
吸气口		KF50(Horizontal) / VG50(Vertical)	ISO-F-80	ISO-F-100
排气口		KF40
质量 *4	kg	139	241	264
适用规格		CE、cTUVus

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