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ULVAC爱发科

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ULVAC爱发科多级罗茨型干泵真空泵

ULVAC爱发科多级罗茨型干泵真空泵
通过高温领域的泵体均热化，实现将CVD、蚀刻等工艺中产生的升化性排气物质以气体状态排出的一款泵

更新时间：2024-05-29
产品型号：UR600
厂商性质：经销商
访问量：225

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联系电话：17503077078

产品详情

ULVAC爱发科多级罗茨型干泵真空泵

特点

高温区域均热化

实现将CVD、蚀刻等工艺中产生的升化性排气物质以气体状态排出。

UR系列可比HR系列更加高温化。

氦气密封

通过搭载屏蔽电动机形成密闭结构，非常安全。

瞬停对策

采取了1000msec以内瞬停对策。

出色的耐腐蚀性

主要零部件均采用表面硬度高、高耐腐蚀性的特殊表面处理。降低腐蚀性气体排气时对泵内部的腐蚀。

通信功能

可读取与泵运转状态相关的数据、警告/报警履历。如果使用专用软件进行计算机通信，则可实现集中监控。

用途

CVD装置

蚀刻装置

灰化装置

ALD、ALH 等

规格

型号		UR421-T	UR600	UR1200	UR1800	UR3601-TT
使用泵	干式真空泵	UR421-T	UR90	UR90	UR180	UR421-T
	机械增压泵	-	PRC-006A	PRC-012A	PRC-018A	PRC-036C-T
最大排气速度	50Hz	410 m³/h (6833 L/min)	653 m³/h (10883 L/min)	1012 m³/h (16867 L/min)	1701 m³/h (28350 L/min)	2700 m³/h (45000 L/min)
到达压力		5.0 Pa
最大排气压力（吸入圧力）		大气压
最大排气口压力（排出圧力）		1.0~ 大气压 Pa
吸气口 (CE规格)		VG100	VG80(NW80)	VG100(NW100)	VG150(NW100)	VG150
排气口		VG50	NW40			NW50
质量		415 kg	370 kg	403 kg	553 kg	720 kg
电源 *2	三相	180～240 VAC/ 380～440 VAC (50/60 Hz)	200 VAC(50/60 Hz) /220 VAC(60 Hz)			180～240 VAC/ 380～440 VAC (50/60 Hz)
电流值	稳定时	23 A(at 200V)	16.4 A(at 200V)	18.9 A(at 200V)	29.2 A(at 200V) 20.5 A(at 400V)	39.8 A(at 200V) 20.5 A(at 400V)
	最大值	52.5 A(at 200V)	17.3 A(at 200V)	22. 4 A(at 200V)	34.9 A(at 200V) 40.5 A(at 400V)	68.3 A(at 200V) 40.5 A(at 400V)
冷却水一次压力		0.2~0.5 Mpa	0.1~0.3 Mpa			0.2~0.5 Mpa
冷却水出入口压差		>0.2 Mpa	>0.1 Mpa	>0.1 Mpa	>0.1 Mpa	>0.2 Mpa
冷却水流量		>5.0 L/min
吹扫气	一次压力	0.1~0.5 Mpa
	二次压力	0.05~0.1 Mpa
N2吹扫	轴	5 SLM
	气镇	0~195 SLM	0~45 SLM		0~195 SLM	0~195 SLM

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