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ULVAC爱发科

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现货 ULVAC爱发科多级罗茨型干泵真空泵

现货 ULVAC爱发科多级罗茨型干泵真空泵
通过高温领域的泵体均热化，实现将CVD、蚀刻等工艺中产生的升化性排气物质以气体状态排出的一款泵。

更新时间：2024-05-29
产品型号：HR60
厂商性质：经销商
访问量：273

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联系电话：17503077078

产品详情

现货 ULVAC爱发科多级罗茨型干泵真空泵

特点

高温区域均热化

实现将CVD、蚀刻等工艺中产生的升化性排气物质以气体状态排出。

UR系列可比HR系列更加高温化。

氦气密封

通过搭载屏蔽电动机形成密闭结构，非常安全。

瞬停对策

采取了1000msec以内瞬停对策。

出色的耐腐蚀性

主要零部件均采用表面硬度高、高耐腐蚀性的特殊表面处理。降低腐蚀性气体排气时对泵内部的腐蚀。

通信功能

可读取与泵运转状态相关的数据、警告/报警履历。如果使用专用软件进行计算机通信，则可实现集中监控。

用途

CVD装置

蚀刻装置

灰化装置

ALD、ALH 等

规格

型号

HR60

HR90

HR300

HR600

HR1200

使用泵

干式真空泵

HR60

HR90

HR60

HR90

机械增压泵

PRC-003A

PRC-006A

PRC-012A

最大
排气速度

50Hz

m³/h
(L/min)

62(1030)

112(1860)

359(5,980)

653(10,900)

1,012(16,900)

60Hz

m³/h
(L/min)

80(1333)

126(2100)

365(6,080)

701(11,700)

1,051(17,500)

到达压力

0.67

最大排气压力
（吸入圧力）

大气压 *1

最大排气压力
（吸入圧力）

1~ 大气压

吸气口 (CE规格)

VG50(KF50)

VG80(KF50)

VG80(KF80)

VG100(KF100)

排气口

KF40

质量

180

245

275

370

420

电源

三相

VAC
(Hz)

200(50/60), 220(60)

电流值

稳定时

7.1
(at 200V)

11.2
(at 200V)

7.8
(at 200V)

12.9
(at 200V)

15.4
(at 200V)

最大值

7.3
(at 200V)

11.8
(at 200V)

8.1
(at 200V)

13.8
(at 200V)

18.9
(at 200V)

冷却水一次圧力

MPa

0.1~0.3

冷却水出入口压差

MPa

>0.1

冷却水流量

L/min

>5.0

吹扫气

一次压力

MPa

0.1~0.5

二次压力

MPa

0.05~0.1

N2吹扫

轴

SLM

气镇

SLM

0~45

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