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ULVAC爱发科

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ULVAC爱发科多级罗茨型干泵 GR 系列

ULVAC爱发科多级罗茨型干泵 GR 系列
干泵GR系列是以获得良好业绩和信赖的LR/HR系列为基础设计的，面向一般产业设计的简单结构的泵。

更新时间：2024-05-29
产品型号：GR60A
厂商性质：经销商
访问量：248

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联系电话：17503077078

产品详情

ULVAC爱发科多级罗茨型干泵 GR 系列

特点

可应用于大气真空间反复抽气的高负荷领域，可在高负荷下持续使用。

适用load lock室（装载/卸载室），可实现高吞吐量。

感应电机可通用

可以安装防爆电机等特殊电机（可选）

采用多电压兼容电机

用途

空气、惰性气体等洁净气体的真空排气

各种成膜设备放入取出室的真空排气

真空干燥，真空气体置换和真空脱泡等一般产业

真空气体置换，如真空热隔绝和气体填充

规格

型号			GR60A	GR90A	GR180A
最大排气速度	50Hz	m³/h(L/min)	62(1030)	112(1030)	183(3100)
	60Hz	m³/h(L/min)	80(1333)	126(2100)	237(3850)
极限压力 *1		Pa	5.0
最大排气压力（吸入圧力）			大气压
最大排气口压力（排出圧力）		Pa	1.0 ~ 大气压
吸气口			VG50	VG80
排气口			NW40
DRP表面处理			〇
电机	输出 [kW]		2.2	3.7	7.5
	电压 [V]	50Hz	200~240/380~415
		60Hz	200~240/380~460
质量		kg	128	188	268
冷却方式	冷却水一次供给压力	MPa	0.1~0.3
	冷却水出入口压差	MPa	>0.1
	冷却水温度	℃	10~30 *2
	冷却水流量	L/min	>5.0
氮气	一次侧供给圧力	MPa	0.1~0.5
	二次侧调整圧力 *3	MPa	0.05 to 0.1 (运作时)
	轴	SLM	5.0 *4

*1 极限压力是氮气（轴封气体）为5.0 SLM时的值。
*2 不结露。
*3 通过调节器调节压力计值。
*4 氮气（轴封气体）的流量固定为5.0SLM。

配件

型号		材质	表面处理	重量(kg)	法兰接口	GR60A	GR90A	GR180A
消音器	RS-01+ 套件A	SUS304	GBB处理	4.1	KF40	〇	〇	-
消音器	RS-01+ 套件C	SUS304	GBB处理	8.3	KF40	-	-	〇

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