TORAY东丽半导体行业专用多点氧气浓度计

TORAY东丽半导体行业专用多点氧气浓度计 MS-510
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产品详情

TORAY东丽半导体行业专用多点氧气浓度计 MS-510

多点氧浓度计MS-500/MS-510/SD传感器系列是利用我们在半导体和电子行业积累的氧浓度计制造技术开发的，

可用于包括真空设备在内的各种设备。
配备了我们的紧凑型氧化锆传感器，可以长时间进行稳定和高精度的测量，并且还配备了氧传感器保护机制，实现了超越传统产品的耐用性。

另外，通过将氧气传感器和转换器分离，最多可添加8个检测器，可以同时测量。

操作简单，是集成到各种处理设备中的最佳氧气浓度计。

产品特点

使用一台控制器最多可同时测量 8 点。

（可选添加转换器/SD传感器组）

非常适合安装和集成到批量生产的机器中。

通过将传输输出更改为 LAN 规格，可以从 LAN 连接器进行输出。

这是一种无需采样的直插式传感器，即使在真空气氛中也可以进行测量。

使用单独的传感器实现最短的响应。

传感器采用特殊涂层，以实现高耐用性。

CE 标志...EN61010-1、EN61326-1
RoHS 指令...EN63000

模型	控制器：MS-500 转换器：MS-510 传感器：SD16NW/SD25NW/SD40NW
测量点数	最多8点（每个测量点需要一套检测单元）
测量方法	氧化锆氧浓差电池类型
测量范围	0.001ppm～100%
安装条件	安装地点：室内、非防爆区域环境温度：控制器/转换器：0 至 40°C 　　　　　传感器单元：0 至 50°C 环境湿度：35 至 80%RH（无结露）安装温度：控制器/转换器传感器单位：0 至 40℃ 　　　　　　传感器单位：0 至 100℃ 不含易燃成分、卤素、二氧化硅或腐蚀性成分

尺寸	92宽×44高×120深（毫米）
质量	约0.6公斤
安装方法	使用 M3 螺钉进行面板安装
电源	电源：DC24V，0.3A
浓度显示	自动量程数字4位显示（浓度显示）自动量程切换显示 0-1/10/100/1000ppm/1/10/100%
通讯输出规格	通信方式：单向、RS-232C 兼容、D-sub 9 针（针接触）传输速度：9,600/19,200/38,400 bps LAN 连接：选项
选项	LAN输出（传输输出）

尺寸	转换器：100（宽）x 40（高）x 88（深）（单位：mm，不包括突出部分）传感器：总长度 100（单位：mm）
质量	转换器：约 0.5kg 传感器：约 0.3kg
安装方法	传感器：用 M3 螺钉固定在平面上传感器：ISO 真空法兰连接
联系	转换器与传感器之间的连接为专用线，标准长度为2m，最大长度为10m。
预热时间	6分钟内
电源	电源：DC24V、2A 功耗：60VA（标准：15VA）
重复性	0 至 1% 量程或更高：±0.5% FS 或更低 0 至 1% 量程或更低：±1.0% FS 或 ±0.1ppm，以较大者为准 * 不保证低于 0 至 1ppm 量程
空气点稳定性	±1.0%FS以下/24小时
样品条件	请勿在还原性气氛中使用。另外，如果被测气体的比热较高，例如He浓度较高，则可能无法使用。温度：0～100℃ 压力：10 -3 Pa～200kPa（绝对压力）湿度：露点低于环境温度流量：0.5～5L/min或0L/min（自然扩散下测量）

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